基本結(jié)構(gòu)
現(xiàn)代X射線熒光光譜分析儀由以下幾部分組成;X射線發(fā)生器(X射線管、高壓電源及穩(wěn)定穩(wěn)流裝置)、分光檢測系統(tǒng)（分析晶體、準(zhǔn)直器與檢測器)、記數(shù)記錄系統(tǒng)（脈沖輻射分析器、定標(biāo)計、計時器、積分器、記錄器)。
應(yīng)用
1.可以進(jìn)行固體、粉末、薄膜、液體樣品及不規(guī)則樣品的無標(biāo)樣元素的定性定量分析。主要用于金屬、無機(jī)非金屬等材料中化學(xué)元素的成分分析，范圍從‘Be~92 U。
我們再來看看一些關(guān)于X射線熒光光譜儀（XRF）的常見問題吧!
XRF能掃描全部元素嗎?不能做全部元素掃描，因為輕質(zhì)元素能量躍遷很小，不容易捕捉。最好情況下XRF能檢測Na（第十一號元素）以后的元素。
2.XRF測元素含量時被測元素的化合價態(tài)對定量分析結(jié)果有沒有影響？
XRF只能進(jìn)行元素分析，而不能進(jìn)行價態(tài)分析。即它的分析結(jié)果包括所有價態(tài)的元素總量。例如Cr的分析，它分辨不出材料中Cr是以金屬Cr、三價鉻還是六價鉻的形式存在，只能給出總鉻的含粒
3.X射線衍射儀與X射線熒光光譜儀的區(qū)別？
X射線衍射儀（XRD）是礦物學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)的主要儀器,用于對結(jié)晶物質(zhì)的定性和定量分析。
X射線熒光光譜儀（XRF）是通過測定二次熒光的能量來分辨元素的，可做定量或定性分析。
兩種儀器構(gòu)造與使用對象不同，XRD要復(fù)雜，XRF通常比較小。x射線熒光和x射線衍射的區(qū)別在于前者是對材料進(jìn)行成份分析的儀器，而后者則主要是對材料進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)分析以便確定其物理性狀的設(shè)備。
